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Tokyo Electron TW39-000021-11射頻自動(dòng)調(diào)音臺(tái) PDF資料 

1.產(chǎn) 品 資 料 介 紹：

中文資料：

產(chǎn)品名稱

TEL Tokyo Electron TW39-000021-11 射頻自動(dòng)調(diào)音臺(tái)

產(chǎn)品類型

射頻自動(dòng)匹配器（RF Auto Matching Unit）

功能簡(jiǎn)介

該模塊用于 Tokyo Electron 半導(dǎo)體設(shè)備中，主要用于：

• 在射頻（RF）系統(tǒng)中對(duì)阻抗進(jìn)行自動(dòng)調(diào)諧匹配

• 使射頻功率源與等離子體負(fù)載之間達(dá)到最佳匹配，降低反射功率

• 提高能量傳輸效率，保護(hù)射頻發(fā)生器和負(fù)載元件

主要技術(shù)特性（典型參數(shù)）

• 工作頻率：13.56 MHz 或 40.68 MHz（具體型號(hào)決定）

• 射頻功率范圍：2kW 至 20kW（依據(jù)應(yīng)用設(shè)備功率等級(jí)）

• 反應(yīng)速度快，適合快速調(diào)諧等離子體工藝中的負(fù)載變化

• 自動(dòng)調(diào)整電容/電感匹配網(wǎng)絡(luò)，實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)阻抗匹配

應(yīng)用領(lǐng)域

廣泛用于 Tokyo Electron 的以下半導(dǎo)體設(shè)備中：

• 等離子體刻蝕系統(tǒng)

• 化學(xué)氣相沉積（CVD）系統(tǒng)

• 原子層沉積（ALD）設(shè)備

• 清洗設(shè)備等涉及高頻等離子體的系統(tǒng)

英文資料：

product name

TEL Tokyo Electron TW39-000021-11 RF Automatic Mixing Console

product type

RF Auto Matching Unit

Function Introduction

This module is used in Tokyo Electron semiconductor equipment, mainly for:

Automatic impedance tuning and matching in radio frequency (RF) systems

Achieve optimal matching between RF power source and plasma load, and reduce reflected power

Improve energy transmission efficiency, protect RF generators and load components

Main technical characteristics (typical parameters)

Operating frequency: 13.56 MHz or 40.68 MHz (specific model to be determined)

RF power range: 2kW to 20kW (depending on the power level of the application device)

Fast response speed, suitable for quickly tuning load changes in plasma processes

Automatically adjust the capacitor/inductor matching network to achieve real-time impedance matching

application area 

Widely used in the following semiconductor devices of Tokyo Electron:

Plasma etching system

Chemical Vapor Deposition (CVD) System

Atomic Layer Deposition (ALD) equipment

Cleaning equipment and other systems involving high-frequency plasma

2.產(chǎn)      品      展      示      

3.其他產(chǎn)品

GE IS210MACCH1AKH控制器模塊

GE IS200WEMAH1AEA端子電路板

Kollmorgen MMC-SD-0.5-230-D伺服驅(qū)動(dòng)器

4.其他英文產(chǎn)品

Kollmorgen MMC-SD-0.5-230-D servo drive

REXROTH PPC-R22.1N-T-NN-P1-NN-FW servo

DELTA TAU ACC-24E2 interface simulation

本篇文章出自瑞昌明盛自動(dòng)化設(shè)備有限公司官網(wǎng)，轉(zhuǎn)載請(qǐng)附上此鏈接:http://www.jiangxidcs

品牌：TEL Tokyo Electron

型號(hào)：TW39-000021-11射頻自動(dòng)調(diào)音臺(tái)

質(zhì)保：一年

成色：全新/二手

優(yōu)勢(shì)產(chǎn)品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特點(diǎn)：主營(yíng)產(chǎn)品各種模塊/卡件，控制器，觸摸屏，伺服驅(qū)動(dòng)器。

應(yīng)用行業(yè)：廣泛應(yīng)用于冶金、石油天然氣、玻璃制造業(yè)、鋁業(yè)、石油化工、煤礦、造紙印刷、紡織印染、機(jī)械、電子制造、汽車制造、煙草、塑膠機(jī)械、電力、水利、水處理/環(huán)保、市政工程、鍋爐供暖、能源、輸配電等

快遞方式：國(guó)內(nèi)順豐、德邦、京東快遞包郵，按照實(shí)際報(bào)價(jià)貨期發(fā)貨  P8123 DEIF DELOMATIC-3 DGU2機(jī)箱