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Tokyo Electron 11-14259-01熱力板  PDF資料 

1.產(chǎn) 品 資 料 介 紹：

中文資料：

TEL Tokyo Electron 11-14259-01 熱力板（Heater Plate） 是一款專用于半導(dǎo)體制造設(shè)備中的加熱模塊部件，主要作用是在工藝腔體中對晶圓進(jìn)行均勻加熱，以滿足特定工藝條件下對溫度控制的精度要求。它通常安裝于反應(yīng)腔體、加熱臺（hot chuck）或其他熱處理組件中，是設(shè)備溫控系統(tǒng)的重要組成部分。

一、基本信息

• 產(chǎn)品型號： 11-14259-01

• 產(chǎn)品名稱： 熱力板 / 加熱板（Heater Plate）

• 制造商： Tokyo Electron Ltd.（TEL）

• 類型： 工藝加熱元件，用于高精度溫控需求

二、主要功能

1. 加熱功能

• 對晶圓或工藝區(qū)域提供均勻、穩(wěn)定的熱源，支持設(shè)置不同溫度區(qū)段。

2. 溫度控制接口

• 搭載熱電偶（Thermocouple）或RTD等溫度傳感器，配合溫控系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)控制。

3. 熱均勻性保障

• 材料通常選用高導(dǎo)熱性金屬或陶瓷，表面處理精密，確保熱分布均勻。

4. 工藝支持

• 支持CVD、ALD、干法蝕刻、退火、預(yù)熱等高溫相關(guān)制程環(huán)節(jié)。

英文資料：

TEL Tokyo Electron 11-14259-01 Heater Plate is a heating module component specifically designed for semiconductor manufacturing equipment. Its main function is to uniformly heat wafers in the process chamber to meet the precision requirements for temperature control under specific process conditions. It is usually installed in the reaction chamber, hot chuck, or other heat treatment components and is an important component of the equipment temperature control system.

1、 Basic Information

Product Model: 11-14259-01

Product Name: Heater Plate

Manufacturer: Tokyo Electron Ltd. (TEL)

Type: Process heating element, used for high-precision temperature control requirements

2、 Main functions

Heating function

Provide a uniform and stable heat source for the wafer or process area, and support setting different temperature ranges.

Temperature control interface

Equipped with temperature sensors such as thermocouples or RTDs, and combined with a temperature control system to achieve closed-loop control.

Thermal uniformity guarantee

Materials are usually made of high thermal conductivity metals or ceramics, with precise surface treatment to ensure uniform heat distribution.

Process support

Support high-temperature related process steps such as CVD, ALD, dry etching, annealing, preheating, etc.

2.產(chǎn)      品      展      示      

3.其他產(chǎn)品

ASEA DSQC223機(jī)器人控制板

ASEA ED1833模塊板卡

GE F650BABF1G0HI 保護(hù)裝置板卡

4.其他英文產(chǎn)品

ABB XVC768117 Field Input/Output Module

Eaton XV-440-10TVB-1-50 Touch Screen

FOXBORO FBM217 Voltage Monitor Module

本篇文章出自瑞昌明盛自動化設(shè)備有限公司官網(wǎng)，轉(zhuǎn)載請附上此鏈接:http://www.jiangxidcs

品牌：TEL Tokyo Electron

型號：11-14259-01熱力板

質(zhì)保：一年

成色：全新/二手

優(yōu)勢產(chǎn)品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特點：主營產(chǎn)品各種模塊/卡件，控制器，觸摸屏，伺服驅(qū)動器。

應(yīng)用行業(yè)：廣泛應(yīng)用于冶金、石油天然氣、玻璃制造業(yè)、鋁業(yè)、石油化工、煤礦、造紙印刷、紡織印染、機(jī)械、電子制造、汽車制造、煙草、塑膠機(jī)械、電力、水利、水處理/環(huán)保、市政工程、鍋爐供暖、能源、輸配電等

快遞方式：國內(nèi)順豐、德邦、京東快遞包郵，按照實際報價貨期發(fā)貨  P8123 DEIF DELOMATIC-3 DGU2機(jī)箱