Tokyo Electron 3M81-004199-11數(shù)字輸入模塊 PDF資料
1.產(chǎn) 品 資 料 介 紹：
中文資料：
TEL Tokyo Electron 3M81-004199-11 數(shù)字輸入模塊 是一款用于半導(dǎo)體設(shè)備中的DI（Digital Input）采集模塊，主要功能是將現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備的開(kāi)關(guān)量信號(hào)（如傳感器、按鈕、限位開(kāi)關(guān)等）采集并傳送給主控制系統(tǒng)。該模塊在設(shè)備自動(dòng)控制中承擔(dān)關(guān)鍵“狀態(tài)檢測(cè)”角色，是設(shè)備邏輯控制的重要基礎(chǔ)。
一、產(chǎn)品基本信息
型號(hào)： 3M81-004199-11
名稱： 數(shù)字輸入模塊（Digital Input Module）
制造商： Tokyo Electron Ltd.（TEL）
用途： 采集外部開(kāi)關(guān)狀態(tài)信號(hào)并傳輸至設(shè)備主控系統(tǒng)
二、核心功能
數(shù)字信號(hào)采集
讀取來(lái)自現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備的二進(jìn)制信號(hào)（如 ON/OFF、High/Low）。
與主控制單元通信
將采集的狀態(tài)信號(hào)實(shí)時(shí)上傳至 CPU 模塊或PLC系統(tǒng)。
電氣隔離保護(hù)
每一路輸入端口通常具備光耦隔離功能，提高系統(tǒng)抗干擾性能和電氣安全性。
用于邏輯判斷與控制決策
通過(guò)邏輯編程，實(shí)現(xiàn)如安全聯(lián)鎖、狀態(tài)判斷、流程控制等功能。
三、應(yīng)用領(lǐng)域
該模塊廣泛應(yīng)用于 TEL 的多種半導(dǎo)體設(shè)備 中，典型使用場(chǎng)景包括：
1. 設(shè)備機(jī)械結(jié)構(gòu)監(jiān)測(cè)
檢測(cè)門(mén)蓋開(kāi)關(guān)、艙體鎖定、定位器到位、搬運(yùn)機(jī)械動(dòng)作完成等狀態(tài)。
2. 氣體和液體系統(tǒng)狀態(tài)反饋
讀取閥門(mén)開(kāi)關(guān)狀態(tài)、氣體流路切換信號(hào)、壓力開(kāi)關(guān)觸發(fā)狀態(tài)等。
3. 安全與故障聯(lián)鎖
采集安全門(mén)、急停開(kāi)關(guān)、異常報(bào)警觸點(diǎn)等輸入信號(hào)，形成保護(hù)機(jī)制。
4. 控制流程驅(qū)動(dòng)依據(jù)
作為設(shè)備啟動(dòng)/停止、步驟轉(zhuǎn)換、自動(dòng)運(yùn)行邏輯的觸發(fā)輸入來(lái)源。
英文資料：
The TEL Tokyo Electron 3884-200219-31 CPU module is a core control unit used in semiconductor manufacturing equipment, mainly responsible for system operations, signal processing, equipment control, and other functions. It belongs to the brain part of the equipment. This module is typically integrated into the main control framework of TEL, used to coordinate and manage various subsystems such as gas control, temperature control, motion control, etc.
1、 Basic Product Information
Model: 3884-200219-31
Product Name: CPU Module/Central Processing Module
Manufacturer: Tokyo Electron (TEL)
Adaptation platform: TEL dedicated semiconductor equipment, such as deposition equipment (CVD), etching machines, cleaning equipment, etc
2、 Function and Function
Central Processing Unit
Manage all device sub modules, such as gas flow control, power system, I/O interfaces, user interfaces, etc.
Run device control software to achieve sequential logic and real-time task scheduling.
I/O signal management
Communicate with peripheral devices through buses such as VME, PCI, PXI, etc.
Receive sensor signals and control actuator actions.
Communication with Human Machine Interface (HMI)
Provide interface support for status display, alarm, parameter settings, etc.
Running the operating system
May run embedded real-time operating systems (such as VxWorks, QNX, or TEL custom RTOS), supporting stable control performance.
2.產(chǎn) 品 展 示
3.其他產(chǎn)品
KOLLMORGEN PC834-001-T 無(wú)刷伺服驅(qū)動(dòng)器
4.其他英文產(chǎn)品
ASEA DSQC108 controller backplane
FOXBORO RH926GH Control Input Card
Fanuc A06B-6115-H006 servo drive
| PMA24D-10100-00 | AMAT 0100-09081 | PFTL 101AER-2.0KN |
| PMA24D-00100-00 | AMAT 0100-20091 | PFTL 301E-0.2 |
| PMA24C-11100-00 | AMAT 0100-20321 | PFTL 101AE-1.0KN |
| PMA24C-10100-00 | AMAT 0100-20054 | PFTC 101X |
| PMA24C-00100-00 | AMAT 0100-20060 | PFEA113-65 3BSE050092R65 |
| PMA240-1150B-02 | AMAT 0100-00127 | PFTL101A-0.5KN 3BSE004166R1 |
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