Tokyo Electron 370-5396-03控制器單元 PDF資料
1.產(chǎn) 品 資 料 介 紹：
中文資料：
Tokyo Electron 370-5396-03 控制器單元（Controller Unit） 是應用于 TEL 半導體設備中的關鍵控制模塊，主要用于執(zhí)行工藝流程邏輯、管理子系統(tǒng)協(xié)調、采集設備運行狀態(tài)，并通過通信接口與上位系統(tǒng)或人機界面實現(xiàn)聯(lián)動控制。
該控制器單元常集成于 TEL 的刻蝕（Etch）、薄膜沉積（CVD/ALD）、清洗（Wet Bench）、搬運系統(tǒng)（EFEM）等設備的主控制平臺，具備高可靠性、高抗干擾能力和工業(yè)級控制性能。
一、基本信息
產(chǎn)品型號： 370-5396-03
產(chǎn)品名稱： 控制器單元（Controller Unit）
制造商： Tokyo Electron Ltd.（TEL）
模塊類型： 工業(yè)控制處理單元（IPC 或嵌入式系統(tǒng)）
集成方式： 模塊化控制架構（如E244系統(tǒng)或獨立控制柜）
二、核心功能
工藝流程控制
執(zhí)行預設的設備流程邏輯，如氣體注入順序、溫度控制、腔體抽真空、晶圓搬運指令等；
與工藝模塊（如氣路、溫控、電源單元）協(xié)同運行。
輸入/輸出管理
管理多個 I/O 模塊（如數(shù)字輸入/輸出、模擬量采集等）；
采集設備狀態(tài)信息（傳感器信號、門鎖狀態(tài)、氣閥動作等）。
通信協(xié)調
提供與上位機（如MES系統(tǒng)）或TEL內部其他控制板（如BX81、E249等）的通信接口；
支持以太網(wǎng)、RS232、背板總線等多種通信方式。
實時數(shù)據(jù)處理與報警
對運行數(shù)據(jù)實時處理、分析異常狀態(tài)、輸出警報或聯(lián)鎖保護；
提供接口與 HMI 面板連接，用于操作顯示和數(shù)據(jù)交互。
英文資料：
The Tokyo Electron 370-5396-03 Controller Unit is a key control module applied in TEL semiconductor equipment, mainly used to execute process flow logic, coordinate management subsystems, collect equipment operating status, and achieve linkage control with the upper system or human-machine interface through communication interfaces.
This controller unit is often integrated into the main control platform of TEL's etching (Etch), thin film deposition (CVD/ALD), cleaning (Wet Bench), handling system (EFEM) and other equipment, with high reliability, high anti-interference ability and industrial grade control performance.
1、 Basic Information
Product model: 370-5396-03
Product Name: Controller Unit
Manufacturer: Tokyo Electron Ltd. (TEL)
Module type: Industrial Control Processing Unit (IPC or Embedded System)
Integration method: Modular control architecture (such as E244 system or independent control cabinet)
2、 Core functions
Process control
Execute preset equipment flow logic, such as gas injection sequence, temperature control, chamber vacuum, wafer handling instructions, etc;
Works in conjunction with process modules such as gas circuits, temperature control, and power supply units.
Input/Output Management
Manage multiple I/O modules (such as digital input/output, analog acquisition, etc.);
Collect device status information (sensor signals, door lock status, air valve action, etc.).
Communication coordination
Provide communication interfaces with the upper computer (such as MES system) or other control boards within TEL (such as BX81, E249, etc.);
Supports Ethernet RS232、 Multiple communication methods such as backplane bus.
Real time data processing and alarm
Real time processing of operational data, analysis of abnormal states, output of alarms or interlock protection;
Provide interface and HMI panel connection for operation display and data interaction.
2.產(chǎn) 品 展 示
3.其他產(chǎn)品
4.其他英文產(chǎn)品
HAAS 93-32-3550J Intelligent Driver
ABB CHBX01R 2VAA008575R1 redundant modul
Schneider 140CP43412A Controller Module
| PMB33C-10100-02 | AMAT 0100-09001 | 57160001-HU DSTD 131 |
| PMB33C-10100-01 | NKTU012 | DI620 |
| PMB33C-10100-00 | 07PS62R2 | M22NRXD-LNF-NS-00 |
| PMB33C-00216-03 | NTMP01 | XT76a |
| PMB33C-00216-02 | GJR5251300R0171 | 546149 Terminal Block |
| PMB33C-00216-01 | 07ZW80 | 57120001-PS D SAI 133 |
| PMB33C-00216-00 | AMAT 0100-20164 | K9033-015 K9033-015 ABB |
| PMB33C-00214-03 | PHBRMU10010000 | 57120001-FX DSAI 160 |
