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Tokyo Electron 3Z39-000005-V1自動(dòng)匹配器 PDF資料 

1.產(chǎn) 品 資 料 介 紹：

中文資料：

產(chǎn)品名稱

TEL Tokyo Electron 3Z39-000005-V1 自動(dòng)匹配器

產(chǎn)品類型

射頻自動(dòng)阻抗匹配器（RF Auto Matcher）

設(shè)備功能

該模塊用于 Tokyo Electron 半導(dǎo)體設(shè)備中，主要用于：

• 在高頻射頻系統(tǒng)中執(zhí)行自動(dòng)阻抗匹配

• 確保 RF 發(fā)射器與等離子體負(fù)載之間的阻抗最優(yōu)化

• 降低反射功率，提高能量耦合效率

• 保護(hù) RF 發(fā)射器、等離子腔體、匹配網(wǎng)絡(luò)等關(guān)鍵部件

典型應(yīng)用

適用于 Tokyo Electron 的刻蝕、CVD、ALD 等工藝系統(tǒng)，通常與 Daihen 等品牌的射頻電源配套使用。常見于：

• Clean Track 系統(tǒng)

• 真空腔體內(nèi)的等離子控制模塊

• 需要高速響應(yīng)的射頻控制場(chǎng)景

技術(shù)參數(shù)（可能對(duì)應(yīng) Daihen RMN-20K3-V）

• 工作頻率：13.56 MHz 或其他高頻工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

• 功率支持范圍：最多可達(dá) 20kW（具體視版本而定）

• 自動(dòng)控制：具備實(shí)時(shí)反饋匹配算法

• 接口標(biāo)準(zhǔn)：工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)射頻接口，可與 TEL 原廠或第三方 RF 系統(tǒng)集成

英文資料：

product name

TEL Tokyo Electron 3Z39-000005-V1 Automatic Matcher

product type

RF Auto Matcher

Equipment functions

This module is used in Tokyo Electron semiconductor equipment, mainly for:

Performing automatic impedance matching in high-frequency RF systems

Ensure optimal impedance between RF transmitter and plasma load

Reduce reflection power and improve energy coupling efficiency

Protect key components such as RF transmitters, plasma chambers, and matching networks

Typical applications

Suitable for etching, CVD, ALD and other process systems of Tokyo Electron, usually used in conjunction with RF power supplies from brands such as Daihen. Commonly seen in:

Clean Track System

Plasma control module inside the vacuum chamber

RF control scenarios that require high-speed response

Technical parameters (possibly corresponding to Daihen RMN-20K3-V)

Operating frequency: 13.56 MHz or other high-frequency industry standards

Power support range: up to 20kW (depending on version)

Automatic control: equipped with real-time feedback matching algorithm

Interface standard: Industrial standard RF interface, can be integrated with TEL original or third-party RF systems

2.產(chǎn)      品      展      示      

3.其他產(chǎn)品

Kollmorgen MMC-SD-0.5-230-D伺服驅(qū)動(dòng)器

GE 201CI-1 控制器模塊

Kollmorgen 6SM37M-6000伺服電機(jī)

4.其他英文產(chǎn)品

Asea 2668-184-280 12 slot control board

HAAS 93-32-3550J Intelligent Driver

ABB CHBX01R 2VAA008575R1 redundant modul

本篇文章出自瑞昌明盛自動(dòng)化設(shè)備有限公司官網(wǎng)，轉(zhuǎn)載請(qǐng)附上此鏈接:http://www.jiangxidcs

品牌：TEL Tokyo Electron

型號(hào)：3Z39-000005-V1自動(dòng)匹配器

質(zhì)保：一年

成色：全新/二手

優(yōu)勢(shì)產(chǎn)品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特點(diǎn)：主營(yíng)產(chǎn)品各種模塊/卡件，控制器，觸摸屏，伺服驅(qū)動(dòng)器。

應(yīng)用行業(yè)：廣泛應(yīng)用于冶金、石油天然氣、玻璃制造業(yè)、鋁業(yè)、石油化工、煤礦、造紙印刷、紡織印染、機(jī)械、電子制造、汽車制造、煙草、塑膠機(jī)械、電力、水利、水處理/環(huán)保、市政工程、鍋爐供暖、能源、輸配電等

快遞方式：國(guó)內(nèi)順豐、德邦、京東快遞包郵，按照實(shí)際報(bào)價(jià)貨期發(fā)貨  P8123 DEIF DELOMATIC-3 DGU2機(jī)箱