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Tokyo Electron 2L39-000009-21控制器模塊 PDF資料 

1.產 品 資 料 介 紹：

中文資料：

TEL Tokyo Electron 2L39-000009-21 控制器模塊
（Controller Module）

產品功能：

該模塊是 Tokyo Electron 半導體設備中的關鍵控制單元之一，負責設備運行過程中的核心邏輯控制、動作協(xié)調和數(shù)據通訊，主要具備以下功能：

• 控制設備內多個子系統(tǒng)的動作邏輯與流程順序

• 采集傳感器反饋信號并進行邏輯判斷與響應

• 向執(zhí)行器（如電機、閥門、加熱單元等）發(fā)出控制指令

• 與上位機或主控制系統(tǒng)進行通信，實現(xiàn)數(shù)據交互與任務分配

• 執(zhí)行預設程序或自動化流程，確保設備高效運行

主要應用領域：

1. 晶圓處理系統(tǒng)核心控制

• 控制晶圓轉運、對位、升降、旋轉等精密動作流程

• 管理各部位機械手（robot arm）和滑臺等設備的運動邏輯

2. 真空腔體操作控制

• 控制真空泵、氣體閥、腔體加熱模塊的運行狀態(tài)

• 實現(xiàn)真空壓力的閉環(huán)調節(jié)與安全聯(lián)鎖保護

3. 流程管理與順序邏輯控制

• 執(zhí)行復雜的加工步驟流程，如蝕刻、沉積、清洗等多階段工藝控制

• 支持設定流程中斷、自動復位、故障響應等功能

4. 設備通信與人機界面集成

• 與觸摸屏、上位機、MES系統(tǒng)通信，進行數(shù)據上傳/下載

• 支持遠程監(jiān)控、日志記錄、參數(shù)配置等高級操作

英文資料：

TEL Tokyo Electron 2L39-000009-21 Controller Module

（Controller Module）

Product Features:

This module is one of the key control units in Tokyo Electron semiconductor equipment, responsible for core logic control, action coordination, and data communication during equipment operation. It mainly has the following functions:

Control the action logic and process sequence of multiple subsystems within the device

Collect sensor feedback signals and make logical judgments and responses

Send control commands to actuators (such as motors, valves, heating units, etc.)

Communicate with the upper computer or main control system to achieve data exchange and task allocation

Execute preset programs or automated processes to ensure efficient operation of equipment

Main application areas:

1. Core control of wafer processing system

Control the precision action process of wafer transfer, alignment, lifting, rotation, etc

Manage the motion logic of various parts such as robot arms and slide tables

2. Vacuum chamber operation control

Control the operation status of vacuum pump, gas valve, and chamber heating module

Realize closed-loop regulation of vacuum pressure and safety interlock protection

3. Process management and sequential logic control

Execute complex processing steps such as etching, deposition, cleaning, and other multi-stage process controls

Support setting process interruption, automatic reset, fault response and other functions

4. Device communication and human-machine interface integration

Communicate with touch screen, upper computer, MES system to upload/download data

Support advanced operations such as remote monitoring, logging, parameter configuration, etc

2.產      品      展      示      

3.其他產品

GE IS200ESYSH1AAA 伺服終端電路板

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ABB YPO104數(shù)字輸出板

4.其他英文產品

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3BHE009681R0101 GVC750BE101 thyristor hi

本篇文章出自瑞昌明盛自動化設備有限公司官網，轉載請附上此鏈接:http://www.jiangxidcs

品牌：TEL Tokyo Electron

型號：2L39-000009-21控制器模塊

質保：一年

成色：全新/二手

優(yōu)勢產品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特點：主營產品各種模塊/卡件，控制器，觸摸屏，伺服驅動器。

應用行業(yè)：廣泛應用于冶金、石油天然氣、玻璃制造業(yè)、鋁業(yè)、石油化工、煤礦、造紙印刷、紡織印染、機械、電子制造、汽車制造、煙草、塑膠機械、電力、水利、水處理/環(huán)保、市政工程、鍋爐供暖、能源、輸配電等

快遞方式：國內順豐、德邦、京東快遞包郵，按照實際報價貨期發(fā)貨  P8123 DEIF DELOMATIC-3 DGU2機箱