Tokyo Electron 1187-032104-13控制單元模塊 PDF資料
1.產(chǎn) 品 資 料 介 紹：
中文資料：
TEL Tokyo Electron 1187-032104-13 控制單元模塊
型號(hào)： 1187-032104-13
名稱： 繼電器單元（Relay Unit）
制造商： Tokyo Electron Ltd.（TEL）
應(yīng)用設(shè)備： 主要用于 TEL 的半導(dǎo)體制造設(shè)備，尤其是 Alpha 8S / a8s 系列
功能與作用
電路切換控制：通過(guò)繼電器實(shí)現(xiàn)電路通斷，控制設(shè)備模塊之間的電氣連接。
信號(hào)傳遞：負(fù)責(zé)內(nèi)部控制信號(hào)的傳遞和協(xié)調(diào)，保證設(shè)備模塊協(xié)同工作。
保護(hù)功能：在異常情況下切斷電路，防止設(shè)備損壞。
典型應(yīng)用領(lǐng)域
化學(xué)氣相沉積（CVD）設(shè)備的氣體流量和反應(yīng)條件控制。
蝕刻（Etcher）設(shè)備的工藝控制。
原子層沉積（ALD）設(shè)備的精準(zhǔn)氣體控制。
其他半導(dǎo)體制造設(shè)備中的電路控制和切換。
產(chǎn)品特點(diǎn)
工業(yè)級(jí)高可靠性設(shè)計(jì)，適合半導(dǎo)體制造環(huán)境。
模塊化結(jié)構(gòu)，便于安裝、維護(hù)和快速更換。
與TEL多款設(shè)備和模塊兼容，保證系統(tǒng)整體性能。
優(yōu)良的抗電磁干擾能力，保障信號(hào)穩(wěn)定傳輸。
英文資料：
TEL Tokyo Electron 1187-032104-13 Control Unit Module
Model: 1187-032104-13
Name: Relay Unit
Manufacturer: Tokyo Electron Ltd. (TEL)
Application equipment: mainly used for TEL semiconductor manufacturing equipment, especially Alpha 8S/a8s series
Function and Function
Circuit switching control: Control the electrical connection between equipment modules by implementing circuit on/off through relays.
Signal transmission: Responsible for the transmission and coordination of internal control signals to ensure the collaborative work of equipment modules.
Protection function: Cut off the circuit in case of abnormal conditions to prevent equipment damage.
Typical application areas
Control of gas flow rate and reaction conditions in chemical vapor deposition (CVD) equipment.
Process control of Etcher equipment.
Accurate gas control of atomic layer deposition (ALD) equipment.
Circuit control and switching in other semiconductor manufacturing equipment.
Product Features
Industrial grade high reliability design, suitable for semiconductor manufacturing environment.
Modular structure, easy to install, maintain, and quickly replace.
Compatible with multiple TEL devices and modules to ensure overall system performance.
Excellent resistance to electromagnetic interference ensures stable signal transmission.
2.產(chǎn) 品 展 示
3.其他產(chǎn)品
AMAT 0190-73524 伺服驅(qū)動(dòng)器
4.其他英文產(chǎn)品
ASEA 2668 180-291 slot control
| Lam Research 605-064676-005 | AMAT 0100-76030 | HESG332143R0001 70EB10A-E |
| K43HRLM-LNK-NS-01 | AMAT 0100-40037 | HESG447260R0002 70BA01C-S |
| K42HRLM-LNK-NS-00 | AMAT 0100-11066 | 57310001-CM DSCS131 ABB |
| K42HLLN-LNK-NS-01 | AMAT 0100-40044 | HESG446680R0001 70EA03A-E |
| K42HLLK-LNK-NS-00 | AMAT 0100-90855 | HEIE420696R0001 XP8670A |
| K42HLHN-LNK-NS-01 | AMAT 0100-01108 | HESG332204R0001 70PR05B-E |
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