Tokyo Electron 1B80-002816-11數(shù)字量控制板卡 PDF資料
1.產(chǎn) 品 資 料 介 紹：
中文資料：
TEL Tokyo Electron 1B80-002816-11 數(shù)字量控制板卡（Digital I/O Control Board） 是一款用于 Tokyo Electron 半導(dǎo)體設(shè)備中的高可靠性數(shù)字信號控制模塊，主要承擔(dān)設(shè)備各子系統(tǒng)之間的數(shù)字輸入采集與數(shù)字輸出控制功能。它廣泛應(yīng)用于 TEL 的刻蝕（Etch）、沉積（CVD）、清洗（Wet Bench）、前端模塊（EFEM）等設(shè)備中，是實(shí)現(xiàn)工藝動作邏輯執(zhí)行、狀態(tài)檢測與安全聯(lián)鎖的核心部件之一。
一、基本信息
產(chǎn)品型號： 1B80-002816-11
產(chǎn)品名稱： 數(shù)字量控制板卡（Digital I/O Control Board）
制造商： Tokyo Electron Ltd.（TEL）
模塊類型： 開關(guān)量輸入/輸出控制卡件
安裝方式： 插拔式模塊，安裝于控制主機(jī)機(jī)架或分布式控制盒中
二、核心功能
數(shù)字輸入采集（DI）
采集設(shè)備狀態(tài)信號，如限位開關(guān)、門鎖狀態(tài)、氣壓傳感器、報警觸點(diǎn)等；
支持多路通道并行采集，適配高速設(shè)備動作反饋要求。
數(shù)字輸出控制（DO）
控制電磁閥、繼電器、馬達(dá)啟停、報警燈、門禁系統(tǒng)等執(zhí)行組件；
輸出響應(yīng)速度快，適用于實(shí)時控制場景。
安全聯(lián)鎖執(zhí)行
實(shí)現(xiàn)如“開門聯(lián)鎖”“真空保護(hù)”“溫度報警”類邏輯控制，確保工藝安全；
支持聯(lián)鎖觸發(fā)中斷控制機(jī)制。
隔離與保護(hù)設(shè)計
所有輸入/輸出通道具備光耦隔離，防止信號干擾；
內(nèi)置過壓、過流、短路保護(hù)，支持熱插拔。
英文資料：
TEL Tokyo Electron 1B80-002816-11 Digital I/O Control Board is a high reliability digital signal control module used in Tokyo Electron semiconductor equipment, mainly responsible for digital input acquisition and digital output control functions between various subsystems of the equipment. It is widely used in equipment such as Etch, CVD, Wet Bench, and EFEM in TEL, and is one of the core components for implementing process action logic execution, status detection, and safety interlocking.
1、 Basic Information
Product model: 1B80-002816-11
Product Name: Digital I/O Control Board
Manufacturer: Tokyo Electron Ltd. (TEL)
Module type: switch input/output control card
Installation method: Plug in module, installed in the control host rack or distributed control box
2、 Core functions
Digital Input Acquisition (DI)
Collect equipment status signals, such as limit switches, door lock status, air pressure sensors, alarm contacts, etc;
Support multi-channel parallel acquisition and adapt to high-speed device action feedback requirements.
Digital Output Control (DO)
Control solenoid valves, relays, motor start stop, alarm lights, access control systems and other execution components;
Fast output response speed, suitable for real-time control scenarios.
Safety interlock execution
Implement logic controls such as "door interlock", "vacuum protection", and "temperature alarm" to ensure process safety;
Support interlock triggered interrupt control mechanism.
Isolation and protection design
All input/output channels are equipped with optocoupler isolation to prevent signal interference;
Built in overvoltage, overcurrent, and short-circuit protection, supporting hot swapping.
2.產(chǎn) 品 展 示
3.其他產(chǎn)品
IS410SRLYS2A IS400SRLYS2ABB端子板模塊
4.其他英文產(chǎn)品
VE5010 Logic Controller Module
KJ3222X1-BA1 Analog Input Module
| PMB31D-10116-03 | INICT03A | P21NSXS-LSS-M1-02 |
| PMB31D-10116-02 | 07ZB69R1 | P21NRXD-LNF-NS-00 |
| PMB31D-10116-01 | NKTU01 | M22NRFA-LNF-NS-02 |
| PMB31D-10116-00 | NKMP01 | N33HCHJ-LNK-NS-00 |
| PMB31D-10114-03 | INIIT03 | 3BSE008062R1 PM633 |
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